| 金刚石线锯切割对砷化镓切片表面质量的影响 |
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| 引用本文： | 沈兆侠,陈荣发,孙玉利,戴良刚,张显亮,朱瑞,左敦稳.金刚石线锯切割对砷化镓切片表面质量的影响[J].扬州大学学报(自然科学版),2010,13(2). |
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| 作者姓名： | 沈兆侠 陈荣发 孙玉利 戴良刚 张显亮 朱瑞 左敦稳 |
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| 作者单位： | 1. 扬州大学,机械工程学院,江苏,扬州,225127
2. 南京航空航天大学,机电学院,南京,210016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金资助项目，扬州大学科技创新基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用金刚石线锯对直径65 mm的单晶砷化镓棒材进行切割实验,锯丝线速度分别为0.8,2.5 m.s-1,进给速度分别为0.6,1.5,2.5 mm.min-1.应用原子力显微镜(atomic force microscopy,AFM)测量切割后砷化镓切片的表面粗糙度,根据脆塑转变中的滑移理论分析了金刚石线锯切割砷化镓晶体的加工过程.结果表明:当进给速度为0.6 mm.min-1,线速度为2.5 m.s-1时,切割表面平整,无崩碎现象,表面粗糙度值达55.21 nm.提高线速度,表面粗糙度减小;提高进给速度,表面粗糙度增加.当进给速度较大时,提高线速度,表面粗糙度减小不明显,其主要原因是由于进给速度过高后系统振动、冲击增强所致,而锯丝磨损、磨粒脱落也是切割表面质量降低原因之一.
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| 关 键 词： | 单晶砷化镓 金刚石锯丝 表面质量 线速度 进给速度 |
Affect of diamond wire saw on the surface quality of gallium arsenide chip |
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| SHEN Zhao-xia,CHEN Rong-fa,SUN Yu-li,DAI Liang-gang,ZHANG Xian-liang,ZHU Rui,ZUO Dun-wen.Affect of diamond wire saw on the surface quality of gallium arsenide chip[J].Journal of Yangzhou University(Natural Science Edition),2010,13(2). |
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| Authors: | SHEN Zhao-xia CHEN Rong-fa SUN Yu-li DAI Liang-gang ZHANG Xian-liang ZHU Rui ZUO Dun-wen |
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