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| 微机械桥型压控振荡器 | |
| 作者姓名： | 韩建强 朱长纯 赵红坡 刘君华 邵军 |
| 作者单位： | 西安交通大学电信学院,西安,710049 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:60036016,50077016)，教育部博士点基金(批准号:98069828)资助项目 |
| 摘 要： | 设计制作了一种由电热激励/压敏电桥拾振的二氧化硅/硅双层微桥谐振器及其闭环谐振电路实现的高Q值微机械压控振荡器. 通过调节压敏电桥的桥压, 改变桥的平均温升和轴向应变, 可调节压控振荡器的中心频率. 理论计算和实验结果表明, 输出信号的频率与桥压的平方具有良好的线性关系. 对所测试的器件, 其线性度为0.16%, 振荡频率可调节范围与振荡频率的比值为17.15%. |
| 关 键 词： | 微桥 谐振器 微机电系统 压控振荡器 |
| 收稿时间： | 2003-06-16 |
| 修稿时间： | 2003-09-05 |
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