| 以LaNiO3作为底电极的Pb(Zr0.3,Ti0.7)O3铁电薄膜的性能研究 |
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| 引用本文： | 李亚巍,张伟风,孟祥建,孙璟兰,王根水,褚君浩. 以LaNiO3作为底电极的Pb(Zr0.3,Ti0.7)O3铁电薄膜的性能研究[J]. 河南大学学报(自然科学版), 2003, 33(1): 23-26 |
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| 作者姓名： | 李亚巍 张伟风 孟祥建 孙璟兰 王根水 褚君浩 |
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| 作者单位： | 河南大学物理与信息光电子学院,开封,475001;中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室,上海,200083 |
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| 摘 要： | 采用溶胶－凝胶法在Si(100）衬底上制备了LaNiO3薄膜,采用相同方法在LaNiO3/Si(100）上制备了Pb（Zr0.3,Ti0.7）薄膜,对LaNiO3薄膜和Pb(Zr0.3,Ti0.7）O3薄膜的结晶性,表面形貌和电性能进行了研究。
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| 关 键 词： | 溶胶一凝胶法 铁电薄膜 LaNiO3 PZT |
| 文章编号： | 1003-4978(2003)01-0023-04 |
The study of the Pb( Zr0.3, Ti0.7) O3 ferroelectric thin films with the LaNiO3 thin films as the bottom electrode |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel ferroelectric thin films LaNiO_3 PZT |
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