| 表面钝化对少子寿命、铁-硼对浓度和复合中心浓度的影响 |
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| 作者姓名： | 李凤 马忠权 孟夏杰 吕鹏 于征汕 何波 |
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| 作者单位： | ① 上海大学物理系索朗光伏材料与器件联合实验室, 上海 200444;
② 上海索朗太阳能科技有限公司, 上海 200120 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号: 60876045)、上海市重点学科建设项目(编号: S30105)、上海大学研究生创新基金(编号: SHUCX091012)、SHU- SOEN’s PV 联合实验室基金(编号: SS-E0700601)和上海市基础研究重点项目(编号: 09JC1405900)资助 |
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| 摘 要： | ![]()
分别采用0.08 mol/L的碘酒、等离子体增强化学气相沉积(PECVD) SiNx:H和40%的HF酸对太阳电池级直拉单晶硅进行表面钝化, 然后利用微波光电导衰减(μ-PCD) 法测量硅片的少子寿命和铁-硼(Fe-B)对浓度. 通过比较少子寿命测量值, 发现0.08 mol/L的碘酒的钝化效果最好, 40%的HF酸的钝化效果最差. 对硅片Fe-B对浓度测量结果的分析表明, 同一硅片经过不同钝化处理后Fe-B对浓度分布差异较大, 且只有经过PECVD沉积SiNx:H钝化的硅片的Fe-B对浓度分布与少子寿命分布有显著的相关性. 此外, 实验研究还发现, 钝化效果比较好的情况下, 复合中心浓度分布与Fe-B对浓度分布存在很强的相关性. 实验的半定量估算、分析表明, 少子寿命、Fe-B对浓度以及复合中心浓度分布的间接测量结果, 受到样品表面钝化效果的影响.
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| 关 键 词： | 微波光电导 表面钝化 少子寿命 铁-硼对 复合中心 |
| 收稿时间： | 2009-07-07 |
| 修稿时间： | 2009-09-22 |
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