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| Ti—Al—N系功能梯度薄膜结合强度的研究 | |
| 引用本文： | 乔学亮,侯晏红.Ti—Al—N系功能梯度薄膜结合强度的研究[J].华中理工大学学报,1999,27(9):18-19. |
| 作者姓名： | 乔学亮 侯晏红 |
| 摘 要： | 研究了成分梯度对Ｔｉ－Ａｌ－Ｎ系功能梯度薄膜结合强度的影响，实验结果表明：Ｔｉ－Ａｌ－Ｎ系功能梯度薄膜的结合强度高于均质薄膜，且随着梯度的增加结合强度逐渐增加，这是由于梯度能够缓和应力以及薄膜中残余应力降低的缘故。 |
| 关 键 词： | 结合强度 功能梯度 薄膜 钛铝氮 |
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