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| 多能场微射流水导激光加工研究发展概况 | |
| 作者姓名： | 卢希钊 江开勇 |
| 作者单位： | 华侨大学机电及自动化学院;厦门大学电子科学与技术学院;华侨大学福建省特种能场制造重点实验室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(编号:51575198);福建省重点实验室开放基金(编号:2016JZA002)资助项目 |
| 摘 要： | 微射流水导激光加工属于一种多能场复合激光加工技术.该技术利用加工激光耦合稳定压力微射流,改变激光能量分布为平顶高斯光束,并对加工断面进行冷却、冲刷.稳定的小流量压力去离子水射流导引激光柔性延伸加工焦点,改善加工激光能量分布的同时实现去屑、冷却,使得其轴向加工质量、精度得到提高,并提高激光轴向加工能力.本文介绍并阐述了该加工装置及设备研发的若干关键因素:激光全反射入射角度的选择、光束质量、模式、聚焦位置及激光与水射流的耦合精度.对比了该技术与超短脉冲激光(飞秒激光)的加工特点.阐述了微射流水导激光适当控制激光加工热量,控制激光加工方向,适用于高质量大深径比(约10-100)的深孔、槽、缝的场合以及一些低k绝缘材质,硬质合金、SiC、GaAs、聚晶金刚石等材质的高附加值对象场合. |
| 关 键 词： | 微射流水导激光加工 耦合 全反射传输 加工质量 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |