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一种新的非晶态材料—氢化非晶碳膜
引用本文:
毛友德.一种新的非晶态材料—氢化非晶碳膜[J].合肥工业大学学报(自然科学版),1986(3).
作者姓名:
毛友德
摘 要:
近几年来,具有类金刚石特性的氢化非晶碳膜(a—C:H)受到了越来越多的重视。本文详细综述了它的制备、结构、特性及应用。
本文献已被
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