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Al—Ge共蒸膜晶化现象的TEM研究
引用本文:王戴木.Al—Ge共蒸膜晶化现象的TEM研究[J].阜阳师范学院学报(自然科学版),1997(4):5-8.
作者姓名:王戴木
作者单位:阜阳师范学院物理系
摘    要:本文对三种不同Al原子百分比的Al—Ge共蒸膜进行了透射电镜观察研究,实验表明:a—Ge的晶化行为敏感地依赖于共蒸膜中Al原子百分比及退火温度,分形结构的出现是由于温度场控制的随机逐次成核机制作用的结果。

关 键 词:薄膜  铝/锗共蒸膜  晶化  TEM  铝/锗双层膜

TEM Investigation of Crystallization Behavior in Al - Ge thin Films
Abstract:Evaporated Al -Ge thin films with various Al -atom ratio were investigated by TEM. Experiments show that the crystallization behavior of a -Ge is sensitively dependent on the Al -atom ratios and on the annealing temperatures. The random successive nucleation mechanism can be used to enplain the behavior of the fractal formation.
Keywords:
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