| 集成扩展电阻硅流量传感器的研究 |
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| 引用本文： | 张寿远,李斌.集成扩展电阻硅流量传感器的研究[J].华南理工大学学报(自然科学版),1995,23(12):18-22. |
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| 作者姓名： | 张寿远 李斌 |
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| 作者单位： | 华南理工大学应用物理系，深圳思特达显示技术工程有限公司 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金,广东省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种新型集成扩展电阻硅流量传感器。此结构的工作原理是基于热传导原理，即当流体流过加芯片时，芯片两端的温差可以用于测量流体的速度。由于应用硅扩展电阻作温度敏感元，故ＳＲＳＦ传感器适用于测量温度较高的流体。分析和实验研究结果表明，ＳＦＳＲ传感器具有如下特点：小流量时灵敏度较高，有方向敏特性；与标准ＩＣ工艺兼容，可制成集成化流量传感器。
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| 关 键 词： | 硅 扩展电阻 流量传感器 SRSF传感器 |
RESEARCH ON INTEGRATED SPREADING RESISTANCE SILICON FLOW SENSOR |
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| Zhallg Shouyuan, Li Bin, Zheng Xueren, Liu Baiyong, Guan Peixun.RESEARCH ON INTEGRATED SPREADING RESISTANCE SILICON FLOW SENSOR[J].Journal of South China University of Technology(Natural Science Edition),1995,23(12):18-22. |
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| Authors: | Zhallg Shouyuan Li Bin Zheng Xueren Liu Baiyong Guan Peixun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | silicon integrate spreading resistance flow sensor |
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