| 亚微米微位移工作台升降模糊控制系统 |
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| 引用本文： | 王云庆,李庆祥,周兆英.亚微米微位移工作台升降模糊控制系统[J].清华大学学报(自然科学版),1998(2). |
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| 作者姓名： | 王云庆 李庆祥 周兆英 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家“八五”重点科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 对微位移工作台升降运动的精确控制是实现大规模集成电路中薄膜台阶高度测量自动化的关键。本文介绍了一种新型的微位移工作台升降模糊控制系统，它具有亚微米级的运动精度，保证了工作台升降快速、准确，运行平稳，对触针无冲击。在台阶高度测量中，应根据被测样品材料选择适当的测量力，该文测量力的设定是通过工作台上升或下降到相应位置来完成的。实验表明：工作台上升时间仅１０ｓ左右，测量力设定误差小于６μＮ。
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| 关 键 词： | 台阶测量 工作台 模糊控制 触针测量力 |
Fine up-down stage fuzzy control system with sub-micrometer accuracy |
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| WANG Yunqing,LI Qingxiang,ZHOU Zhaoying.Fine up-down stage fuzzy control system with sub-micrometer accuracy[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),1998(2). |
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| Authors: | WANG Yunqing LI Qingxiang ZHOU Zhaoying |
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| Institution: | WANG Yunqing,LI Qingxiang,ZHOU Zhaoying Department of Precision Instruments and Mechanology,Tsinghua University,Beijing 100084,China |
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