| 硅衬底对纳米ZnO/p-Si异质结酒精敏感性能的影响 |
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| 引用本文： | 周小岩,韩治德,李传勇,刘晓龙. 硅衬底对纳米ZnO/p-Si异质结酒精敏感性能的影响[J]. 中国石油大学学报(自然科学版), 2012, 36(5): 179-183 |
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| 作者姓名： | 周小岩 韩治德 李传勇 刘晓龙 |
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| 作者单位： | 中国石油大学理学院,山东青岛,266580 |
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| 基金项目： | 山东省自然科学基金项目，中国石油大学(华东)校自主创新项目，大学生创新训练计划 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射的方法在不同电阻率的p型硅衬底上沉积氧化锌薄膜,制备了ZnO/p-Si异质结。通过X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)分析ZnO薄膜的物相结构和表面形貌。研究室温下不同电阻率的硅衬底对ZnO/p-Si异质结电流-电压特性和酒精敏感特性的影响。结果表明:ZnO薄膜结晶情况良好,具有高度的c轴择优取向,表面颗粒分布均匀;ZnO/p-Si异质结酒精敏感性依赖于p-Si衬底,当p-Si衬底的电阻率为10～20Ω.cm时,其气敏性能最强;该异质结在+4.0 V的偏置电压下,对0.024 g/L酒精气体的灵敏度为39.7%。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 p-Si衬底 电阻率 气体传感器 |
Effect of Si substrate on ethanol gas sensing properties of nanometer ZnO/p-Si heterojunction |
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| ZHOU Xiao-yan , HAN Zhi-de , LI Chuan-yong , LIU Xiao-long. Effect of Si substrate on ethanol gas sensing properties of nanometer ZnO/p-Si heterojunction[J]. Journal of China University of Petroleum (Edition of Natural Sciences), 2012, 36(5): 179-183 |
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| Authors: | ZHOU Xiao-yan HAN Zhi-de LI Chuan-yong LIU Xiao-long |
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| Affiliation: | (College of Science in China University of Petroleum,Qingdao 266580,China) |
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