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氢化非晶碳膜的制备及其在金属表面防护上的应用
引用本文:
毛友德 ,王和照 ,凌松林.氢化非晶碳膜的制备及其在金属表面防护上的应用[J].合肥工业大学学报(自然科学版),1986(2).
作者姓名:
毛友德
王和照
凌松林
作者单位:
江淮仪表厂
摘 要:
氢化非晶碳膜具有硬度高、电绝缘、光学透明、化学性能稳定等优良特性,又称为“类金刚石”碳膜。本文报导由碳氢气体的辉光放电分解而制备的氢化非晶碳膜的特性及其在金属表面防护上的应用。
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