| 纳米多层膜的微结构与超硬效应 |
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| 引用本文： | 李戈扬,许俊华,顾明元. 纳米多层膜的微结构与超硬效应[J]. 上海交通大学学报, 2001, 35(3): 457-461 |
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| 作者姓名： | 李戈扬 许俊华 顾明元 |
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| 作者单位： | 上海交通大学;上海交通大学;上海交通大学 |
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| 摘 要： | 对所研究的8种纳米多层膜（TiN/NbN、TiN/TaN、TiN/TaWN、TiN/AlN、NbN/TaN、TiN/Si3N4、W/SiC和W/Mo）的晶体结构、调制结构、生长方式和界面结构类型以及它们的超硬度效应特征进行了总结和讨论。结果认为,界面共格应变或其他原因所导致的交变应力场对薄膜造成的强化作用是纳米多层膜产生超硬效应的主要原因之一。
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| 关 键 词： | 多层膜 微结构 界面结构 超硬效应 交变应力场 |
| 文章编号： | 1006-2467(2001)03-0457-05 |
| 修稿时间： | 2000-06-04 |
Microstructure andSuperhardness of Multilayer Films |
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| LI Ge-yang,XU Jun-hua,GU Ming-yuan. Microstructure andSuperhardness of Multilayer Films[J]. Journal of Shanghai Jiaotong University, 2001, 35(3): 457-461 |
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| Authors: | LI Ge-yang XU Jun-hua GU Ming-yuan |
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| Abstract: | The characteristics of crystalline, modulation structure, growth mode, interface structure and superhardness of 8 multilayer systems (TiN/NbN, TiN/TaN, TiN/TaWN, TiN/AlN, NbN/TaN, TiN/Si 3N 4, W/SiC and W/Mo) were summarized and discussed. The results show that one of the main reasons that multiplayer films are strengthened and having superhardness is the alternating stress field resulted from coherent strain of interface or other causes. |
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| Keywords: | multiplayer films microstructure interface structure superhardness effect alternating stress field |
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