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一种光纤组量程扩增的激光频率扫描干涉绝对测距系统
引用本文:吕涛,刘志刚,邓忠文,陶龙,龚海.一种光纤组量程扩增的激光频率扫描干涉绝对测距系统[J].西安交通大学学报,2013,47(9):77-82.
作者姓名:吕涛  刘志刚  邓忠文  陶龙  龚海
作者单位:西安交通大学机械制造系统国家重点实验室,710049,西安
基金项目:国家自然科学基金资助项目,国家"863计划"资助项目
摘    要:为解决激光频率扫描干涉(FSI)测距系统随着目标距离增大测量精度下降的问题,提出了一种利用光纤组量程扩增技术实现大尺寸绝对测距的精度补偿方法。采用参考光路光程可变递增的方法,建立了光纤组量程扩增的激光频率扫描干涉绝对测距系统,通过FSI原理实现了量程扩增部分光程差的自标定。对应不同测量目标,通过粗测和精确测量,实现了系统原点自标定、光纤通道切换和目标值的精确测量。实验结果表明,在测量距离大于3 000mm后,光纤组量程扩增测距系统具有更高的绝对距离测量重复精度,在6 700mm目标位置的绝对距离重复精度比FSI测距系统的重复精度提高了2.4μm,并且在大尺寸测量方面更具有一定的优势。

关 键 词:激光频率扫描干涉  光纤组量程扩增  原点自标定  大尺寸测量

A Range Amplified Absolute Distance Measurement System with Laser Frequency Sweeping Interferometry by Optical Fiber Pairs
L Tao , LIU Zhigang , DENG Zhongwen , TAO Long , GONG Hai.A Range Amplified Absolute Distance Measurement System with Laser Frequency Sweeping Interferometry by Optical Fiber Pairs[J].Journal of Xi'an Jiaotong University,2013,47(9):77-82.
Authors:L Tao  LIU Zhigang  DENG Zhongwen  TAO Long  GONG Hai
Institution:L(U) Tao , LIU Zhigang , DENG Zhongwen , TAO Long , GONG Hai
Abstract:
Keywords:laser frequency sweeping interferometry  range amplification with optic fiber pairs  self-calibration of the origin  lager scale metrology
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
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