| 类金刚石碳膜在大气热退火过程中的稳定性 |
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| 引用本文： | 王维洁,陈智颖.类金刚石碳膜在大气热退火过程中的稳定性[J].兰州大学学报(自然科学版),1994,30(4):42-46. |
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| 作者姓名： | 王维洁 陈智颖 |
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| 作者单位： | 兰州大学材料科学系 |
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| 摘 要： | 本文对双离子束溅射淀积法制备的类金刚石碳膜进行了大气中的热退火研究。退火温度３００℃，时间分别为１．５ｈ和３．０ｈ。对退火前后的样品分别作了红外透射谱、Ｒａｍａｎ光谱和电阻率的测量，并在退火过程中对膜层电阻率进行了即位测量。结果表明，３００℃的退火并不能使膜层中的Ｃ－Ｈ键断裂，而使膜层结构趋于完整，膜层氧化变薄，其电阻率和红外透过率过率增高；但退火对膜的影响程度只与退火温度有关，而与退火时间无关。
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| 关 键 词： | 退火 稳定性 结构 性能 类金刚石碳膜 |
The Stability of Diamond-like Carbon Films during Annealing in Air |
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| Wang Weijie, Chen Zhiying, Wang Tianmin.The Stability of Diamond-like Carbon Films during Annealing in Air[J].Journal of Lanzhou University(Natural Science),1994,30(4):42-46. |
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| Authors: | Wang Weijie Chen Zhiying Wang Tianmin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | annealing stability structure behaviour diamond-like carbon films |
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