| 基于半导体陶瓷技术的二氧化碳传感器研究 |
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| 引用本文： | 修德斌,王铁玲,郭忠文,韩德维. 基于半导体陶瓷技术的二氧化碳传感器研究[J]. 哈尔滨商业大学学报(自然科学版), 2007, 23(3): 332-335 |
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| 作者姓名： | 修德斌 王铁玲 郭忠文 韩德维 |
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| 作者单位： | 哈尔滨理工大学,测量与通讯工程学院,哈尔滨,150080;中国电子科技集团公司第四十九研究所,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 采用硬质酸盐方法制备出纳米BaTiO3粉末,利用半导体陶瓷技术掺杂CeO-AgNO3制造出对CO2气体敏感的功能材料.基于CaCO3和RuO2制作电极,NiCr丝加热.CO2气体传感器当加热到400~450℃时,CO2体积分数为100×10-6~2 000×10-6,传感器的特征阻值由600 kΩ变化到150 kΩ,函数关系呈良好的全对数线性,同时测定了元件的温度特性和湿度特性,提出了此种传感器工作时,为提高传感器测试准确性,应考虑环境温湿度补偿技术.
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| 关 键 词： | 复合氧化物 二氧化碳 气体传感器 温度 湿度 |
| 文章编号： | 1672-0946（2007）03-0332-04 |
| 收稿时间： | 2007-01-23 |
| 修稿时间： | 2007-01-23 |
Study on carbon dioxide gas sensors based on semiconductor ceramic technology |
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| XIU De-bin,WANG Tie-ling,GUO Zhong-wen,HAN De-wei. Study on carbon dioxide gas sensors based on semiconductor ceramic technology[J]. Journal of Harbin University of Commerce :Natural Sciences Edition, 2007, 23(3): 332-335 |
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| Authors: | XIU De-bin WANG Tie-ling GUO Zhong-wen HAN De-wei |
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| Keywords: | compound oxides carbon dioxide gas sensor temperature humidity |
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