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| 磁性石榴石薄膜的液相外延生长机理 | |
| 作者姓名： | 苏钧 |
| 作者单位： | 华中理工大学固体电子学系 |
| 摘 要： | 为了对磁性石榴石薄膜液相外延过程中熔质成分作定量的评估,本文根据扩散-反应方程,建立了熔质浓度分布模型,研究了液相外延生长中熔质R_2O_3(R代表稀土元素)和Fe_2O_3的浓度在PbO/B_2O_3作为助熔剂的熔体中的变化状况,以及薄膜线性生长速率与生长温度的关系. |
| 关 键 词： | 磁性石榴石 薄膜 液相外延 熔质 反应 扩散 |
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