| 梯度氢稀释法制备微晶硅n-i-p太阳电池的研究 |
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| 引用本文： | 袁育杰,侯国付,张建军,薛俊明,曹丽冉,赵颖,耿新.梯度氢稀释法制备微晶硅n-i-p太阳电池的研究[J].中国科学(E辑),2009,39(6):1058-1062. |
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| 作者姓名： | 袁育杰 侯国付 张建军 薛俊明 曹丽冉 赵颖 耿新 |
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| 作者单位： | 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;光电信息技术科学教育部重点实验室;光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室; |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(“973”计划)(批准号:2006CB202602,2006CB202603);;国家科技计划配套项目(批准号:07QTPTJC29500)资助 |
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| 摘 要： | 采用高压RF-PECVD技术,研究了恒定氢稀释法和梯度氢稀释法对本征微晶硅薄膜纵向结构和n-i-p微晶硅太阳电池性能的影响.结果表明,采用梯度氢稀释法能够调控本征微晶硅薄膜的纵向晶化率分布和晶粒尺寸,使电池性能得到大幅度提高,获得转换效率为5.7%（Voc=0.47V,Jsc=20.2mA/cm2,FF=60%）的单结微晶硅太阳电池及转换效率为10.12%（Voc=1.2V,Jsc=12.05mA/cm2,FF=70%）的叠层太阳电池.
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| 关 键 词： | 梯度氢稀释法 微晶硅 n-i-p太阳电池 |
| 收稿时间： | 2008-06-24 |
| 修稿时间： | 2008-09-08 |
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