| 高铝GaAlAs及其多层结构MOVPE生长特性 |
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| 引用本文： | 张晓波,杨树人,陈伯军,赵方海,秦福文,杜国同.高铝GaAlAs及其多层结构MOVPE生长特性[J].吉林大学学报(理学版),1993(3). |
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| 作者姓名： | 张晓波 杨树人 陈伯军 赵方海 秦福文 杜国同 |
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| 作者单位： | 吉林大学电子科学系、集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学系、集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学系、集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学系、集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学系、集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学系、集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区 长春 130023，长春 130023，长春 130023，长春 130023，长春 130023，长春 130023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金委员会 |
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| 摘 要： | 本文报导了高铝GaAlAs及其多层结构的生长特性.X光双晶衍射结果表明,多层GaAlAs叠层材料的X光双晶衍射峰呈现多级卫星峰,这表明材料具有良好的晶体完整性和结构周期性.
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| 关 键 词： | GaAlAs X光双晶衍射 掺杂 多层结构 |
High Aluminum GaAlAs and Its Multiple Layer Structure MOVPE Growth Properties |
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| Zhang Xiaobo,Yang Shuren,Chen Baijun,Zhao Fanghai,Qin Fuwen,Du Guotong.High Aluminum GaAlAs and Its Multiple Layer Structure MOVPE Growth Properties[J].Journal of Jilin University: Sci Ed,1993(3). |
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| Authors: | Zhang Xiaobo Yang Shuren Chen Baijun Zhao Fanghai Qin Fuwen Du Guotong |
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| Abstract: | The paper reports growth properties of high aluminum content GaAlAs and its multiple layer structure, i. e. Al content, doping, growth rate variation with growth conditions. The multi-grade satellite structure measured with X-ray double crystal diffraction shows the perfection of the crystal and the periodicity of the structure of quater wavelength multiple layer structure. |
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| Keywords: | GaAlAs X-ray double crystal diffraction doping multiple layer structure |
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