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| Fz硅气相掺杂（GGD）的计算方法 | |
| 作者姓名： | 辛荣生 张国平 |
| 作者单位： | [1]郑州大学建筑工程学院 [2]河南省教育学院化学系 |
| 摘 要： | 根据区熔硅ＣＧＤ法的生长模式,进一步推算出其掺杂浓度的轴向分布及其均匀分布所需的预掺杂时间,所得计算结果与实验值非常接近。 |
| 关 键 词： | 掺杂浓度 熔区 预掺杂时间 气相掺杂 硅 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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