| 电源功率对SiO_x薄膜包装材料阻隔性影响的研究 |
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| 引用本文： | 张博,孙智慧,林晶,刘壮.电源功率对SiO_x薄膜包装材料阻隔性影响的研究[J].哈尔滨商业大学学报(自然科学版),2009,25(2). |
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| 作者姓名： | 张博 孙智慧 林晶 刘壮 |
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| 作者单位： | 哈尔滨商业大学,轻工学院,哈尔滨,150028 |
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| 摘 要： | 研究了电源功率对磁控溅射制备的SiOx薄膜阻隔性的影响,获得了电源功率与薄膜阻隔性的变化曲线.实验结果表明,电源功率与SiOx薄膜的阻隔性成非线性关系,在电源功率为1 600 W时SiOx薄膜阻隔性最好,透氧率为0.01 cm3/(m2·kPa·24h),透湿率为0.003 g/(m2·kPa·24h).通过对3组不同电源功率下SiOx薄膜的红外光谱进行检测分析,得到薄膜的阻隔性与SiOx分子结构有关,x(1≤x≤2)越大阻隔性越好,x=2时,SiOx分子结构形成的薄膜阻隔性最好.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 电源功率 透氧率 透湿率 |
Effects of power supply on barrier properties of SiO_x thin film |
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| ZHANG Bo,SUN Zhi-hui,LIN Jing,LIU Zhuang.Effects of power supply on barrier properties of SiO_x thin film[J].Journal of Harbin University of Commerce :Natural Sciences Edition,2009,25(2). |
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| Authors: | ZHANG Bo SUN Zhi-hui LIN Jing LIU Zhuang |
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| Institution: | School of Light Industry;Harbin University of Commerce;Harbin 150028;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SiOx |
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