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离子束动态混合氮化钛薄膜生长及其组份和结构分析

引用本文：	王曦,柳襄怀.离子束动态混合氮化钛薄膜生长及其组份和结构分析[J].科技通讯(上海),1993(4):23-27.

作者姓名：	王曦柳襄怀

摘要：
关键词：	氮化钛薄膜离子束混合组分结构
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