| 低气压直流氩气辉光放电的数值模拟研究 |
| |
| 引用本文： | 邵先军,马跃,李娅西,张增辉,张冠军. 低气压直流氩气辉光放电的数值模拟研究[J]. 西安交通大学学报, 2010, 44(12) |
| |
| 作者姓名： | 邵先军 马跃 李娅西 张增辉 张冠军 |
| |
| 基金项目： | 国家优秀博士论文基金，新世纪优秀人才支持计划资助项目 |
| |
| 摘 要： | 建立了一维氩气直流辉光放电自洽流体模型,采用对流与扩散方程来描述带电粒子在间隙中迁移、扩散以及电子的能量变化过程,并考虑了空间电荷对电场的影响以及离子撞击阴极产生的二次电子发射作用.采用有限元法对放电模型进行数值求解,得到了放电电流随时间的演化波形,以及放电稳定后带电粒子的浓度与总通量密度的空间分布,同时也求得了电子能量与电场的空间分布.计算结果表明:加压25μs后,放电逐渐趋于稳定状态;当放电稳定后,在阴极位降区附近,离子密度比电子密度高几个数量级,在正柱区附近两者浓度几乎相等;电子能量在阴极位降区内达到峰值29 eV,而在负辉区及正柱区几乎保持不变;放电电流密度在阴极位降区主要由流向阴极的氩离子及其产生的二次电子所贡献,而在负辉区和正柱区,电子成了放电电流密度的主要贡献者.
|
| 关 键 词： | 直流辉光放电 低温等离子体 电子能量 数值模拟 |
Numerical Simulation for Low Pressure DC Argon Glow Discharge |
| |
| SHAO Xianjun,MA Yue,LI Yaxi,ZHANG Zenghui,ZHANG Guanjun. Numerical Simulation for Low Pressure DC Argon Glow Discharge[J]. Journal of Xi'an Jiaotong University, 2010, 44(12) |
| |
| Authors: | SHAO Xianjun MA Yue LI Yaxi ZHANG Zenghui ZHANG Guanjun |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
