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| 薄膜生长与原子尺度的计算机模拟 | |
| 引用本文： | 李言荣,杨春.薄膜生长与原子尺度的计算机模拟[J].重庆师范学院学报,2002,19(3):1-6. |
| 作者姓名： | 李言荣 杨春 |
| 作者单位： | [1]重庆师范学院化学系，重庆400047 [2]电子科技大学微电子与固体电子学院，成都610054 |
| 摘 要： | 总结了近年来多篇文献报道的新现象，在传统分认的薄膜生长过程与模工基础上，进行了补充和完善。介绍了计算机模拟薄膜生长的多种模型与方法及其应用特点，包括了分子动力学模型、蒙特卡洛模型、动力学蒙特卡洛模型以及具有发展潜力的量子力学模型。简介了当前国内外计算机模拟薄膜生和的研究现状。 |
| 关 键 词： | 薄膜生长 原子尺度 计算机模拟 纳米薄膜材料 分子动力学模型 蒙特卡洛模型 |
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