| 绝压传感器温漂补偿及性能仿真 |
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| 引用本文： | 蓝加平,陈首部.绝压传感器温漂补偿及性能仿真[J].中南民族大学学报(自然科学版),2005,24(2):50-52,56. |
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| 作者姓名： | 蓝加平 陈首部 |
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| 作者单位： | 中南民族大学,电子信息工程学院,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 分析了扩散硅绝对压力传感器的静态特性,提出了线性校正和零点校正方案,并利用Matlab软件对其性能进行了仿真,结果表明:解决了该类绝对压力传感器温漂的补偿问题,用廉价的压力敏感元件实现了对真空压力分辨到1Pa的测量.
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| 关 键 词： | 绝压传感器 温漂 线性校正 零点校正 |
| 文章编号： | 1672-4321(2005)02-0050-03 |
Compensation of Thermal Drift and Simulation of Performance of the Absolute Pressure Sensor |
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| Lan Jiaping,Chen Shoubu.Compensation of Thermal Drift and Simulation of Performance of the Absolute Pressure Sensor[J].Journal of South-Central Univ for,2005,24(2):50-52,56. |
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| Authors: | Lan Jiaping Chen Shoubu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | absolute pressure sensor thermal drift linearity calibration offset calibration |
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