Ag/Bi多层膜的互扩散行为研究 |
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引用本文: | (张明,(于文,(张君,(张远仪,((王文魁.Ag/Bi多层膜的互扩散行为研究[J].科学通报,1996,41(23):2133-2135. |
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作者姓名: | (张明 (于文 (张君 (张远仪 ((王文魁 |
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作者单位: | 中国科学院物理研究所!北京100080,中国科学院物理研究所!北京100080,中国科学院物理研究所!北京100080,中国科学院物理研究所!北京100080,中国科学院物理研究所!北京100080,中国科学院国际材料物理中心,沈阳110015 |
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摘 要: | 互扩散系数是研究多层膜中扩散机理和固相反应的重要参数,利用调制波长为纳米级的成分调制多层膜可以测量10~(-27)m~2/s量级的扩散系数。当组分调制多层膜的调制波长L(L为两组分厚度之和)在纳米量级时,在垂直膜面方向形成一个一维的人造晶格。这种人造晶格所产生的在0°~10°范围内的Bragg衍射峰(调制峰)的强度对退火过程中多层膜间的互扩散十分敏感。测量多层膜的第1级小角X射线衍射峰强度随退火时间的变化可以得出多层膜间的互扩散系数。为了准确测量,最近我们设计了一种可以原位测量第1级小角衍射峰强
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关 键 词: | 多层膜 X射线衍射 互扩散系数 银 铋 |
收稿时间: | 1996-03-16 |
修稿时间: | 1996-05-30 |
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