| 面向21世纪的微电子技术 |
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| 引用本文： | 王阳元,张兴.面向21世纪的微电子技术[J].世界科技研究与发展,1999,21(4):4-11. |
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| 作者姓名： | 王阳元 张兴 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子研究所,北京,100871 |
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| 摘 要： | 本文对21世纪微电子技术的发展趋势作了一个展望。本文认为21世纪初的微电子技术仍将以硅基CMOS电路为主流工艺，但将突破目前所谓的物理“限制”，继续快速发展；集成电路将逐步发展成为集成系统；微电子技术将与其他技术结合形成一系列新的增长点，例如微机电系统（MEMS）、DNA芯片等将得到突飞猛进的发展。具体地，超微细光刻技术、虚拟工厂技术、铜互连及低κ互连绝缘介质、高κ栅绝缘介质、SOI技术等将在近几年内得到快速发展。21世纪将是我国微电子产业的黄金时代。
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| 关 键 词： | 微电子技术 集成系统 微光机电系统 DNA芯片 21世纪 发展趋势 CMOS电路 |
Microelectronics Technology in The 21st Century |
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| WANG Yangyuan,ZHANG Xing.Microelectronics Technology in The 21st Century[J].World Sci-tech R & D,1999,21(4):4-11. |
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| Authors: | WANG Yangyuan ZHANG Xing |
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