MEMS加速度计随机误差分析及建模方法研究

MEMS加速度计普遍存在信噪比低、精度低、稳定性差等缺点,主要原因是加速度计随机误差的影响,所以降低随机误差的影响成为了提高精度和稳定性的关键。采用Allan方差分析法对加速度计的实测数据进行随机误差分析,得到了影响加速度计性能的各项随机噪声系数。使用时间序列分析法对加速度计数据进行数学建模,以FPE准则确定使用的模型与阶次。实验结果表明,对加速度计数据进行建模方法科学有效,所得实验数据在精度和稳定性方面显著提高。