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| 溶胶-凝胶法制备(Bi, Nd)4Ti3O12铁电薄膜 | |
| 作者姓名： | 侯芳 李建康 臧涛成 |
| 作者单位： | 苏州科技学院数理学院;苏州科技学院数理学院;苏州科技学院数理学院 |
| 基金项目： | 国家自然科学青年基金项目（10204016） |
| 摘 要： | 采用溶胶 凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了(Bi, Nd)4Ti3O12铁电薄膜.将薄膜分别进行每一层、每二层、每三层500 ℃空气中预退火10 min,分别称为样品a、b、c,最后都于氮气氛中680℃总退火半小时. 结果表明预退火工艺对薄膜的铁电性能影响很大.样品a、b的铁电性能(2Pr分别为47.8 μC/cm2和51.9 μC/cm2)远远高于样品c(2Pr = 28.7 μC/cm2).三组薄膜都呈现良好的抗疲劳特性. |
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 Nd掺杂 铁电薄膜 |
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