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P(L)ZT铁电薄膜裂纹特性分析
引用本文:
曹广军,于军.P(L)ZT铁电薄膜裂纹特性分析[J].华中理工大学学报,1995,23(8):15-18.
作者姓名:
曹广军
于军
摘 要:
对铁电薄膜热处理过程中产生的裂纹的特性进行了分析。通过实验,研究了裂纹与铁电薄膜微细图形的尺寸、图形形状,以及衬底材料的关系,确定了铁电薄膜无裂纹设计规则及无裂纹工艺。
关 键 词:
铁电薄膜
裂纹
退火
PZT薄膜
热处理
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