高功率、高光束质量垂直腔面发射激光技术研究

垂直腔面发射激光器（VCSEL）作为一种结构紧凑，性能优良的新型半导体激光光源被广泛应用于光通信、光互连、光存储等领域。近年来高功率VCSEL单元器件及高密度二维集成技术的发展使其进一步展现出在激光测距、激光雷达、固体激光泵浦以及激光加工等高功率激光应用领域的巨大潜力。