| 利用离子束技术原位制备高温超导薄膜 |
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| 引用本文： | 郝建华.利用离子束技术原位制备高温超导薄膜[J].科学通报,1993,38(14):1280-1280. |
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| 作者姓名： | 郝建华 |
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| 作者单位： | 华中理工大学光电子工程系，华中理工大学光电子工程系，华中理工大学光电子工程系，华中理工大学光电子工程系，激光技术国家重点实验室 武汉 430074，武汉 430074，武汉 430074，武汉 430074，武汉 430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金高科技 |
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| 摘 要： | 超导薄膜是高温超导材料弱电应用的关键技术。目前磁控溅射(包括直流和射频)和激光淀积方法已被广泛应用获得高温超导薄膜。相比这两种常用制膜方法,离子束溅射(IBS)具有独特优势。IBS工作气压很低,靶与衬底间不存在外加电场,减少了薄膜中杂质,消除了普通等离子体溅射方法中负离子反溅射有害效应。同时也不存在激光淀积薄膜均匀性差、薄膜中颗粒较大等缺点,是一种很有发展前途的制膜手段。利用离子束技术后退火制备性能较好的
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| 关 键 词： | 离子束溅射 薄膜 超导体 高Tc |
| 收稿时间： | 1992-07-21 |
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