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精密直线电机气浮轴承参数辨识
引用本文:余显忠,陈学东,何学明,姜伟.精密直线电机气浮轴承参数辨识[J].华中科技大学学报(自然科学版),2007,35(12):62-64.
作者姓名:余显忠  陈学东  何学明  姜伟
作者单位:华中科技大学,数字制造装备与技术国家重点实验室,湖北,武汉,430074
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划) , 国家自然科学基金
摘    要:基于精密直线电机气浮轴承支撑的结构特点,针对气浮轴承动力学参数辨识问题,利用有限元方法建立了该结构系统的有限元模型,运用理论模态分析与实验模态分析相结合的方法,对该结构的气浮轴承的参数进行了辨识验证,得到了精密直线电机气浮轴承的动力学参数.仿真结果与实验结果相符,证明该方法有效,为该系统进行动力学优化分析提供了基础.

关 键 词:精密直线电机  气浮轴承  参数辨识  有限元方法
文章编号:1671-4512(2007)12-0062-03
修稿时间:2006年10月16

Identification of air-bearing parameters of precision linear motors
Yu Xianzhong,Chen Xuedong,He Xueming,Jiang Wei.Identification of air-bearing parameters of precision linear motors[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,2007,35(12):62-64.
Authors:Yu Xianzhong  Chen Xuedong  He Xueming  Jiang Wei
Abstract:The configuration of precision linear motor with airbearing was considered.Starting from the identification of dynamical parameters of air-bearing,a model for this configuration was built by the finite element method.By the combination of theory modal analysis with experimental modal one,the parameters of the air-bearing was identified to obtain the dynamic parameters of the air-bearing.The results of simulation are in agreement with those of the experiments,showing that the dynamic characteristic of precision linear motors can be analyzed by this type of the method.
Keywords:precision linear motor  air-bearing  parameter identification  finite element method
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