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| 脉冲激光掺铝P~ N结中的深能级 | |
| 引用本文： | 陈继镛 ,游志朴 ,周绍康.脉冲激光掺铝P~ N结中的深能级[J].四川大学学报(自然科学版),1986(2). |
| 作者姓名： | 陈继镛 游志朴 周绍康 |
| 摘 要： | 利用深能级瞬态谱(DLTS)研究了调Q红宝石脉冲激光掺铝P~ N结中的深能极缺陷.当硅衬底中有点缺陷时,激光掺杂将在N区引入一个深电子陷阱,其能级位置在E_c—0.35eV,退火温度约300℃,可能结构是V_2 0]。如果硅衬底中原来无点缺陷,则未观测到激光诱生深能级缺陷。 |
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