200吨/年多晶硅装置工程设计

<正>山东鼎昌硅业科技有限公司根据市场需要新建一套200吨/年太阳能级多晶硅生产装置。该装置采用改良西门子工艺,主要包括三氯氢硅提纯部分、干法回收部分、多晶硅还原与后处理部分以及配套的纯水、氮气、导热油等辅助系统。装置于2009年12月建成,2010年7月投产,产品一次分析合格,经考核,装置满足设计要求。