| RTP硅太阳电池的研究进展 |
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| 引用本文： | 查超麟,刘祖明,陈庭金,李景天,张忠文.RTP硅太阳电池的研究进展[J].云南师范大学学报(自然科学版),2003,23(4):25-33. |
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| 作者姓名： | 查超麟 刘祖明 陈庭金 李景天 张忠文 |
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| 作者单位： | 1. 云南师范大学能源与环境科学学院、太阳能研究所、云南省农村能源工程重点实验室,云南,昆明,650092
2. 云南半导体器件厂,云南,昆明,650033 |
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| 基金项目： | 国家“8 63”资助项目 ( 2 0 0 1 AA5 1 3 0 40 ) |
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| 摘 要： | 用快速热处理(RTP，Rapid Thermal Processing,)制备太阳电池p—n结开辟了一种新的低成本技术。这些年许多科研机构对RTP系统的设计、RTP快速扩散模型、RTP制作器件做了深入的研究。文章主要介绍了RTP快速扩散模型和回顾了RTP硅太阳电池的发展过程，提出了RTP硅太阳电池研究的一些发展方向。
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| 关 键 词： | RTP硅太阳电池 研究进展 快速热处理 快速扩散模型 制作工艺 扩散机理 |
| 文章编号： | 1007-9793(2003)04-0025-09 |
| 修稿时间： | 2002年12月18 |
Research evolvement on RTP silicon solar cells |
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| ZHA Chaolin ,LIU Zuming ,CHENG Tingjin ,LI Jingtian ,ZHANG Zhongwen.Research evolvement on RTP silicon solar cells[J].Journal of Yunnan Normal University (Natural Sciences Edition),2003,23(4):25-33. |
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| Authors: | ZHA Chaolin LIU Zuming CHENG Tingjin LI Jingtian ZHANG Zhongwen |
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| Institution: | ZHA Chaolin 1,LIU Zuming 1,CHENG Tingjin 1,LI Jingtian 1,ZHANG Zhongwen 2 |
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| Abstract: | Rapid thermal processing (RTP) for junction formation is emerging as low cost technique for solar cells as well as for other semiconductor device production. These years, many people have been researching RTP furnace, RTP diffusion model, and RTP semiconductor device production. The paper reviewed research evolution on RTP history, RTP system, and RTP silicon solar cells including research situation and techniques. |
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| Keywords: | RTP silicon solar cells rapid thermal diffusion crystalline silicon monocrystrlline silicon solar cells multicrystalline silicon solar cells |
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