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MEVVA源强流Ti离子注入纯铜表面层的结构与性能研究
引用本文:程国安,梁昌林,朱学涛,郑瑞廷.MEVVA源强流Ti离子注入纯铜表面层的结构与性能研究[J].北京师范大学学报(自然科学版),2005,41(4):376-379.
作者姓名:程国安  梁昌林  朱学涛  郑瑞廷
作者单位:北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室,材料科学与工程系,100875,北京
摘    要:采用金属蒸气真空弧(MEVVA)离子源技术对强流Ti离子束注入到纯铜表面的结构和性能进行了系统的研究.材料表面层的机械性能测试表明:强流Ti离子注入纯铜后材料表面的硬度和耐磨性均有提高,相对于纯铜基体,5×1017 cm-2注量注入可以使材料表面硬度提高2.3倍,使表面摩擦因数下降14%.注入层的X射线结构分析表明:金属离子注入后,在纯铜表面注入层中析出了合金相,合金相的析出是材料的表面硬度和耐磨性提高的主要因素.

关 键 词:Ti离子注入    显微结构  机械性能
收稿时间:2004-12-15
修稿时间:2004年12月15日

A STUDY ON THE STRUCTURE AND PROPERTY OF THE PURE COPPER SURFACE LAYERS IMPLANTED WITH MEVVA Ti ION SOURCE
Cheng Guoan,Liang Changlin,Zhu Xuetao,Zheng Ruiting.A STUDY ON THE STRUCTURE AND PROPERTY OF THE PURE COPPER SURFACE LAYERS IMPLANTED WITH MEVVA Ti ION SOURCE[J].Journal of Beijing Normal University(Natural Science),2005,41(4):376-379.
Authors:Cheng Guoan  Liang Changlin  Zhu Xuetao  Zheng Ruiting
Abstract:
Keywords:Ti ion implantation  copper  microstructure  mechanical properties
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