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| 硅微尘上金刚石膜的生长 | |
| 引用本文： | 元光,金亿鑫.硅微尘上金刚石膜的生长[J].吉林大学自然科学学报,1996(3):59-61. |
| 作者姓名： | 元光 金亿鑫 |
| 摘 要： | 采用微波等离子体方法在硅微尖上生长了金刚石膜，并利用ＳＥＭ和Ｘ射衍射方法对金刚石膜进行了研究。 |
| 关 键 词： | 硅微尖 金刚石 生长 薄膜 微波等离子体 |
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