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| 热阴极辉光PACVD金刚石厚膜的生长特性 | |
| 引用本文： | 孙海羡,于三.热阴极辉光PACVD金刚石厚膜的生长特性[J].吉林大学自然科学学报,1996(2):52-54. |
| 作者姓名： | 孙海羡 于三 |
| 摘 要： | 对用热阴极辉光ＰＡＣＶＤ方法合成的金刚石厚膜，采用扫描电子显微镜进行了观察，研究了金刚石的生长机制。 |
| 关 键 词： | 金刚石厚膜 PACVD 生长 孪晶 SEM |
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