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Au/C60—Polymer/P—Si结构C—V特性
引用本文:
管玉国,戴国瑞.Au/C60—Polymer/P—Si结构C—V特性[J].吉林大学自然科学学报,1996(3):56-58.
作者姓名:
管玉国
戴国瑞
摘 要:
报道了利用PECVD技术在P-Si衬氏抛光面上淀积含C60聚合薄膜及在薄膜表面蒸金形成Au/C60-Polymer/P-Si结构。
关 键 词:
薄膜
C-V特性
碳60
高聚物
硅
有机半导体
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