| 一种基于MEMS技术的压力传感器芯片设计 |
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| 引用本文： | 王大军,李淮江.一种基于MEMS技术的压力传感器芯片设计[J].松辽学刊,2011,32(1). |
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| 作者姓名： | 王大军 李淮江 |
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| 作者单位： | 淮北师范大学,物理与电子信息学院,安徽,淮北,235000 |
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| 基金项目： | 安徽省2010年科技计划项目，安徽省教育厅自然科学研究重点项目 |
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| 摘 要： | 硅压力传感器是利用半导体硅的压阻效应制成,其品质的优劣主要决定于敏感结构的设计与制作工艺.文章从硅压力传感器敏感薄膜的选择、敏感电阻条的确定以及敏感电阻位置的选取,设计了一种方案并进行了实验验证,得出所设计的压力传感器精度达到0.1%～0.25% F.S.
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| 关 键 词： | 压阻式压力传感器 力敏电阻 芯片设计 |
Design of Silicon Piezoresistive Pressure Sensor ChipBased on MEMS Technology |
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| WANG Da-jun,LI Huai-jiang.Design of Silicon Piezoresistive Pressure Sensor ChipBased on MEMS Technology[J].Songliao Journal (Natural Science Edition),2011,32(1). |
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| Authors: | WANG Da-jun LI Huai-jiang |
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