| 等离子体方法实现金属管件内表面改性研究进展 |
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| 引用本文： | 张谷令,吴杏芳,顾伟超,陈光良,冯文然,牛二武,李立,吕国华,陈睆,范松华,刘赤子,杨思泽.等离子体方法实现金属管件内表面改性研究进展[J].自然科学进展,2006,16(11):1371-1378. |
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| 作者姓名： | 张谷令 吴杏芳 顾伟超 陈光良 冯文然 牛二武 李立 吕国华 陈睆 范松华 刘赤子 杨思泽 |
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| 作者单位： | 1. 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083;中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京,100080
2. 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083
3. 中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家高技术研究发展计划(863计划);美国ARO-FE基金;北京市科委高新科技发展项目 |
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| 摘 要： | 综述了近年来国内外利用等离子体方法实现金属管件内表面强化的研究进展. 介绍了几种管件内表面等离子体源离子注入和沉积技术，并对其优缺点分别加以分析. 详细介绍了中国科学院物理研究所等离子体物理实验室先后提出的几种等离子体源离子注入方法用于金属管件内表面改性的原理、技术特点及最新研究进展. 力图展望管件内壁离子注入技术研究的发展前景.
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| 关 键 词： | 等离子体源 离子注入 金属管件 内表面 表面改性 |
| 收稿时间： | 2006-01-19 |
| 修稿时间： | 2006-01-192006-03-29 |
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