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| 微旋转结构法测量Al薄膜的残余应力 | |
| 作者姓名： | 于映 丁可柯 花婷婷 薄亚明 张明 张彤 |
| 作者单位： | [1]南京邮电大学电子科学与工程学院,江苏南京210023 [2]东南大学毫米波国家重点实验室,江苏南京210096 [3]东南大学电子科学与工程学院,江苏南京210096 |
| 基金项目： | 南京邮电大学人才引进项目（NY208032）、毫米波国家重点实验室开放课题（K201412）资助项目 |
| 摘 要： | 薄膜的残余应力是影响MEMS器件工作可靠性和稳定性的重要因素,微旋转结构法能够简单有效地测量薄膜的残余应力.文中采用MEMS工艺制作Al薄膜微旋转结构,根据微旋转结构法对m薄膜的残余应力进行了测量和计算.实验结果表明,溅射Al膜的残余应力为张应力,大小在80～110 GPa之间.对Al薄膜悬梁进行静电驱动,其驱动电压为31 ～34 V,与根据Al膜残余应力的测量值所计算出的驱动电压基本吻合. |
| 关 键 词： | 微旋转结构 Al薄膜 残余应力 |
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