| 掺Fe3+TiO2薄膜型氧气传感器研究 |
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| 引用本文： | 王巍,王晓磊,代作海,唐政维,李银国,徐洋,白晨旭.掺Fe3+TiO2薄膜型氧气传感器研究[J].重庆邮电大学学报(自然科学版),2011,23(4):443-446. |
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| 作者姓名： | 王巍 王晓磊 代作海 唐政维 李银国 徐洋 白晨旭 |
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| 作者单位： | 1. 重庆邮电大学光电工程学院,重庆,400065
2. 重庆邮电大学自动化学院,重庆,400065 |
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| 基金项目： | 工信部电子产业发展基金；网络化控制与智能仪器仪表教育部重点实验室开放基金（2009F01） |
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| 摘 要： | 讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理,重点分析了掺铁对氧敏特性的影响.设计出了基于Ti02薄膜结构氧气传感器,通过硅工艺制作了Fe3+掺杂的TiO2薄膜型氧气传感器、并在400℃下对传感器的氧敏特性进行了测试.实验结果表明,该氧气传感器在高温条件下对氧气含量的变化有明显的响应,且具有低电阻的特性.
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| 关 键 词： | Ti02 Fe3+ 氧气传感器 薄膜气敏传感器 |
| 收稿时间： | 2010/10/23 0:00:00 |
A ferric-doped titanium oxide thin film oxygen sensor |
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| WANG Wei,WANG Xiao-lei,DAI Zuo-hai,TANG Zheng-wei,LI Yin-guo,XU Yang,BAI Chen-xu.A ferric-doped titanium oxide thin film oxygen sensor[J].Journal of Chongqing University of Posts and Telecommunications,2011,23(4):443-446. |
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| Authors: | WANG Wei WANG Xiao-lei DAI Zuo-hai TANG Zheng-wei LI Yin-guo XU Yang BAI Chen-xu |
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| Institution: | College of Electronics Engineering, Chongqing University of Posts and Telecommunications, Chongqing 400065, P.R.China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | titanium oxide Fe3+ oxygen sensor thin film gas sensor |
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