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| 微机电系统传感器的制造和应用 | |
| 引用本文： | 谢国章. 微机电系统传感器的制造和应用[J]. 世界科技研究与发展, 2001, 23(3): 20-22 |
| 作者姓名： | 谢国章 |
| 作者单位： | 河海大学 |
| 摘 要： | 本文叙述微机电系统传感器的设计制造技术和主要应用。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 传感器 微细加工 应用 |
The Fabrication and Application of Micro-Mechanical SystemTransducer |
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