| 沉积温度对ZnO薄膜波导的PLD生长影响的实验研究 |
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| 引用本文： | 邓海东,吴木生,徐初东,罗志环,徐海涛,杨小红,叶志清.沉积温度对ZnO薄膜波导的PLD生长影响的实验研究[J].江西科学,2007,25(2):128-131. |
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| 作者姓名： | 邓海东 吴木生 徐初东 罗志环 徐海涛 杨小红 叶志清 |
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| 作者单位： | 1. 华南农业大学理学院应用物理系,广东,广州,510642
2. 江西师范大学物理与通信电子学院,江西,南昌,330027 |
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| 摘 要： | 采用PLD(脉冲激光沉积)技术在单晶硅(100)基片上制备出性能优良的ZnO薄膜,并通过XRD(X射线衍射仪)和SEM(扫描电镜)检测了其结晶情况,并分析了其沉积温度和结晶质量之间的相互关系,结果表明600℃时沉积的氧化锌薄膜材料的结晶性能最好。
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| 关 键 词： | 脉冲激光沉积技术(PLD) X射线衍射仪(XRD) 半高宽度(FWHM) |
| 文章编号： | 1001-3679（2007）02-0128-04 |
| 修稿时间： | 2007-01-122007-03-01 |
The Influence of Growing Temperature in the ZnO Thin Film Deposited by PLD |
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| DENG Hai-dong,WU Mu-sheng,XU Chu-dong,LUO Zhi-huan,XU Hai-tao,YANG Xiao-hong,YE Zhi-qing.The Influence of Growing Temperature in the ZnO Thin Film Deposited by PLD[J].Jiangxi Science,2007,25(2):128-131. |
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| Authors: | DENG Hai-dong WU Mu-sheng XU Chu-dong LUO Zhi-huan XU Hai-tao YANG Xiao-hong YE Zhi-qing |
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| Institution: | 1 College of Science, South China Agriculture University, Guangdong Guangzhou 510642 PRC ; 2. Key laboratory for Opt -electronics ,Jiangxi Normal University ,Jiangxi Nanchang 330027 PRC |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PLD XRD FWHM |
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