| 热释电薄膜在红外探测器中的应用与研究进展 |
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| 作者姓名： | 吴传贵 刘兴钊 张万里 李言荣 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,微电子与固体电子学院,成都,610054;电子科技大学,微电子与固体电子学院,成都,610054;电子科技大学,微电子与固体电子学院,成都,610054;电子科技大学,微电子与固体电子学院,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 探讨了热释电效应及热释电薄膜红外探测器的工作模式,特别是探测器单元对热释电薄膜的材料与低温生长要求.为了克服薄膜生长过程中较高的基片温度对ROIC的破坏性影响,一方面发展了离子束辅助沉积、外延缓冲层等多种低温生长技术;另一方面发展了复合探测器结构设计,已研制出了性能良好的铁电薄膜非制冷红外焦平面阵列,其NEDT可达20 mK.
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| 关 键 词： | 铁电薄膜 热释电 非制冷红外焦平面阵列 低温生长 |
| 文章编号： | 1672-6693(2005)03-0029-04 |
| 修稿时间： | 2005-07-20 |
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