| 热释电薄膜在红外探测器中的应用与研究进展 |
| |
| 引用本文： | 吴传贵,刘兴钊,张万里,李言荣.热释电薄膜在红外探测器中的应用与研究进展[J].重庆师范大学学报(自然科学版),2005,22(3):29-32. |
| |
| 作者姓名： | 吴传贵 刘兴钊 张万里 李言荣 |
| |
| 作者单位： | 电子科技大学,微电子与固体电子学院,成都,610054;电子科技大学,微电子与固体电子学院,成都,610054;电子科技大学,微电子与固体电子学院,成都,610054;电子科技大学,微电子与固体电子学院,成都,610054 |
| |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
| |
| 摘 要： | 探讨了热释电效应及热释电薄膜红外探测器的工作模式,特别是探测器单元对热释电薄膜的材料与低温生长要求.为了克服薄膜生长过程中较高的基片温度对ROIC的破坏性影响,一方面发展了离子束辅助沉积、外延缓冲层等多种低温生长技术;另一方面发展了复合探测器结构设计,已研制出了性能良好的铁电薄膜非制冷红外焦平面阵列,其NEDT可达20 mK.
|
| 关 键 词： | 铁电薄膜 热释电 非制冷红外焦平面阵列 低温生长 |
| 文章编号： | 1672-6693(2005)03-0029-04 |
| 修稿时间： | 2005年7月20日 |
Introduction to Pyroelectric Thin Films in Infrared Detector |
| |
| WU Chuan-gui,LIU Xing-zhao,ZHANG Wan-li,LI Yan-rong.Introduction to Pyroelectric Thin Films in Infrared Detector[J].Journal of Chongqing Normal University:Natural Science Edition,2005,22(3):29-32. |
| |
| Authors: | WU Chuan-gui LIU Xing-zhao ZHANG Wan-li LI Yan-rong |
| |
| Abstract: | The paper comprehensively describes the pyroelectric effect and the operating modes of infrared detector by using ferroelectric thin film. The key technology of low temperature integration of pyroelectric thin film in Si-read-out integrated circuits and the requirements of pyroelectric thin film are here summarized. Under the development of low temperature growth of ferroelectric thin films (such as, ion beam assisted deposition, buffer layer insertion) and composite element design, pyroelectric thin film infrared detector with good performance has been developed. |
| |
| Keywords: | ferroelectric thin film pyroelectric uncooled infrared focal plane array low temperature deposition |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《重庆师范大学学报(自然科学版)》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《重庆师范大学学报(自然科学版)》下载免费的PDF全文 |
|
