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碳纳米管定向网络场效应晶体管的制备及特性
作者姓名:翟春雪  王若铮  马超  尹铁恩  吴志华  赵丽丽  陈骞  张志勇  邓周虎
作者单位:1.西北大学信息科学与技术学院;2.西安卫光半导体有限公司
基金项目:陕西省科技厅基金资助项目(SJ08-ZT04);陕西省教育厅基金资助项目(08JK462);西北大学大学生创新实验基金资助项目(2009037);西北大学科研启动基金资助项目(PR08044)
摘    要:目的采用简单易行的方法,制备以碳纳米管定向网络为导电沟道的场效应晶体管。方法采用氧化及酸处理的方法对碳纳米管进行提纯,用高频交流电泳在电极间形成碳纳米管的定向网络,并据碳纳米管的导电特性确定半导体性碳纳米管的耗尽栅压,利用大电流烧蚀法去除金属性碳纳米管。结果制备出背栅型碳纳米管定向网络场效应晶体管,测量了输出特性。结论经过提纯处理的碳纳米管纯度提高,碳纳米管在电极间的定向分布效果随交流电场频率的提高而改善,制备出的碳纳米管场效应晶体管具备一定的场效应特性。

关 键 词:碳纳米管定向网络  碳纳米管提纯  金属性碳纳米管  场效应晶体管
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