| 50型MEVVA源离子注入机 |
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| 引用本文： | 吴先映,李强,张胜基,张孝吉,张荟星.50型MEVVA源离子注入机[J].北京师范大学学报(自然科学版),2002,38(4):496-499. |
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| 作者姓名： | 吴先映 李强 张胜基 张孝吉 张荟星 |
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| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所,射线束技术与材料改性教育部重点实验室,100875,北京 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划);; |
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| 摘 要： | 详细介绍了50型强束流、大束斑MEVVA源注入机的结构和各项性能.50型MEVVA源注入机是北京师范大学低能核物理研究所于九五期间承担的"八六三"计划项目"先进离子束注入技术的工业应用"所取得的成果,是专用于工业生产的MEVVA源离子注入机.
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| 关 键 词： | 材料表面改性 MEVVA源 离子注入机 |
| 修稿时间： | 2002年3月18日 |
TYPE-50 MEVVA ION IMPLANTER |
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| Wu Xianying,Li Qiang,Zhang shengji,Zhang Xiaoji,Zhang Huixing.TYPE-50 MEVVA ION IMPLANTER[J].Journal of Beijing Normal University(Natural Science),2002,38(4):496-499. |
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| Authors: | Wu Xianying Li Qiang Zhang shengji Zhang Xiaoji Zhang Huixing |
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| Abstract: | Type 50 MEVVA ion implanter, which is the outcome of project "863 715 008 0040", is presented. The implanter is remarkable with its intense beam current and wide beam spot. It is an industry purpose apparatus. |
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| Keywords: | material surface modification MEVVA ion source ion implanter |
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